東京エレクトロンの半導体製造装置のグローバルリモート保全サービス高付加価値化を目指し、共同技術検証及びCrosser Technologies AB社のソリューションを導入し新エッジ処理基盤構築を支援

日鉄ソリューションズ株式会社
2024年10月28日
11：47

プレスリリース

2024年10月28日

日鉄ソリューションズ株式会社

東京エレクトロンに向け、半導体製造装置のグローバルリモート保全サービス高付加価値化を目指し、共同での技術検証、及びCrosser Technologies AB社のソリューション導入による新エッジ処理基盤の構築を支援

日鉄ソリューションズ株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長：玉置和彦、以下「NSSOL」）は、東京エレクトロン株式会社（本社：東京都港区、代表取締役社長：河合利樹、以下「東京エレクトロン」）の製造する半導体製造装置のリモートサポートシステムの高付加価値化に向けて、共同で技術検証を行い、新たに遠隔からの故障予兆検出モニタリングを実現するためのエッジ処理基盤を構築し、その導入を支援いたしました。この基盤には、Crosser Technologies AB社の提供するエッジソリューションを活用しています。

東京エレクトロンは、世界トップクラスの売上高、業界最大の装置出荷台数(約93,000台)を誇る半導体製造装置メーカーであり、グローバルに87の拠点を構えています。(※2024年6月時点)
半導体産業においては、世界的なサプライチェーンが形成されているため、東京エレクトロンは、グローバルに対応可能なリアルタイムでのリモート保全サービス「TELeMetrics™」を世界中の半導体メーカーに提供しています。一方で、自社内の装置をインターネットに接続することへのセキュリティリスクからニーズがありつつも、導入が進められない企業も存在しました。

そうした課題に対し、東京エレクトロンはNSSOLと共同での技術検証を重ね、セキュリティ上の理由で自社の装置データを外部に出せない企業にも「TELeMetrics™」を提供できるようにするために、新たなエッジ処理システム基盤を利用した「遠隔予知保全システム」を構築し、2024年1月より本番環境での検証を開始いたしました。
この遠隔予知保全システムは、顧客側のシステム内部でデータの整形・加工・一次集計処理を行い、集計データのみをクラウドに集約することで、顧客データのセキュリティを担保しつつ設備データを基にした故障の予知保全を実現いたします。また、これにより以下の効果も見込んでいます。

１．TBM（定期保全）からCBM（状態基準保全）へ
　　データに基づきリアルタイムに装置の状態を把握することで、過剰保全を防ぎつつ適切なタイミングでのメンテナンスを実現
２．サービス事業運営の効率化
　　顧客装置データの一元管理を可能とすることで、監視体制を効率化

遠隔予知保全システム全体像

NSSOLは、これまで培ってきた現場IoT及びAI/機械学習に関する知見を活用し、機械学習や可視化に関するコンサルティングから始まり、システム化の構想支援と実現性検証を経て、実運用ベースでリモート管理可能なリアルタイム予知保全の実現に向けたシステムの構築・検証を支援しました。

NSSOL支援内容

今後もNSSOLは、エッジ処理基盤の導入を通じて東京エレクトロンのリモートメンテナンスサービスの価値向上、企業価値の向上を支援していくとともに、「Social Value Producer with Digital」をビジョンに掲げ、アプリケーション・基盤・通信を含めたトータルDXソリューションを提供し、日本のインダストリー4.0の実現に貢献していきます。

以上

TELeMetrics™とは
TELeMetrics™は半導体製造装置に搭載したセンサーなどを使い、インターネット経由で顧客先の装置の稼動状況をリアルタイムで監視するサービスであり、さまざまなデータを分析して部品交換や保守が必要な時期などを予測し、稼動率の向上や保守管理の効率化につなげています。

Crosser Technologies AB社のエッジソリューションの特長と提供機能
本ソリューションは現場のデータを効率的に収集するエッジ処理基盤として、下記の特長を持っており、製造業のIT-OT連携とデータ利活用を支援します。

リアルタイム分析とワークフローの自動化：製造現場で発生するデータの即時解析、変換、連携を可能にし、即時処理による自動化を実現します。
ローコード開発：ドラッグ＆ドロップと設定によるローコード開発を提供し、IT-OTのコラボレーションを促進します。
エンタープライズグレードの機能とサポート：大量のストリーミングデータ（IoT）処理、レガシーシステムと最新システムの統合、オンプレミスデータとクラウドデータの混合など、エンタープライズレベルの要求に応える機能とサポートを提供します。
中央管理とオーケストレーション：多数のノードにわたるユースケースを一元管理し、各ローカル環境にフローを適用させます。

製造業のデータ利活用の全体像におけるエッジソリューションの配置イメージ

【本件に関するお問い合わせ先】
日鉄ソリューションズ株式会社
産業ソリューション事業本部　コネクテッド・インダストリー事業推進センター（CIC）
E-mail：ind-cic-mkt@jp.nssol.nipponsteel.com

【報道関係お問い合わせ先】
日鉄ソリューションズ株式会社
管理本部　総務部　広報グループ
E-mail：press@jp.nssol.nipponsteel.com

・NS Solutions、NSSOL、NS（ロゴ）は、日鉄ソリューションズ株式会社の登録商標です。
・本文中の会社名および商品名は、各社の商標または登録商標です